ตามหลักปฏิบัติสากล ส่วนใหญ่ระบุระดับการทำให้บริสุทธิ์โดยปราศจากฝุ่นตามจำนวนอนุภาคในอากาศที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่กว่ามาตรฐานการจำแนกประเภทต่อลูกบาศก์เมตรกล่าวคือ สิ่งที่เรียกว่า Dust-free ไม่ใช่ 100% หากไม่มีฝุ่นเพียงเล็กน้อย แต่ควบคุมด้วยหน่วยที่น้อยมากแน่นอน อนุภาคที่ตรงตามมาตรฐานฝุ่นในมาตรฐานนี้มีขนาดเล็กมากเมื่อเทียบกับฝุ่นทั่วไปของเรา แต่สำหรับโครงสร้างทางแสง ฝุ่นเพียงเล็กน้อยก็จะมีผลกระทบเชิงลบมาก ดังนั้นในการผลิตผลิตภัณฑ์โครงสร้างแสง ฝุ่น ฟรีเป็นข้อกำหนดที่หลีกเลี่ยงไม่ได้
ควบคุมจำนวนอนุภาคที่มีขนาดอนุภาคน้อยกว่า 0.5 ไมครอนให้น้อยกว่า 3,500 ต่อลูกบาศก์เมตร ซึ่งถึงระดับ A ที่ปราศจากฝุ่นระดับสากลมาตรฐานปลอดฝุ่นที่ใช้ในการผลิตและแปรรูประดับชิปในปัจจุบันมีข้อกำหนดด้านฝุ่นที่สูงกว่าระดับ A และมาตรฐานที่สูงดังกล่าวมักใช้ในการผลิตชิประดับสูงกว่าบางรุ่นจำนวนฝุ่นละเอียดถูกควบคุมอย่างเข้มงวดภายใน 1,000 ต่อลูกบาศก์เมตร ซึ่งเป็นที่รู้จักกันทั่วไปว่าเป็นระดับ 1K ในอุตสาหกรรม
1. ช่องวัสดุฝ้าเพดานความสูงเพดาน
2. วัสดุปูพื้น
3. ไม่ว่าจะเป็นอุณหภูมิและความชื้นคงที่
4. ต้องใช้อากาศเสียหรือไม่
5. จำนวนคนในการประชุมเชิงปฏิบัติการ
6. ค่าความร้อนของอุปกรณ์กระบวนการประชุมเชิงปฏิบัติการ
และชุดของพารามิเตอร์ต่างๆ
มาตรฐานสำหรับห้องคลีนรูมคลาส 100,000 คือ:
ปริมาณฝุ่นสูงสุดที่อนุญาต (ต่อลูกบาศก์เมตร)
จำนวนอนุภาคที่มากกว่าหรือเท่ากับ 0.5 ไมครอนต้องไม่เกิน 3,500,000 และจำนวนอนุภาคที่มากกว่าหรือเท่ากับ 5 ไมครอนจะต้องไม่เกิน 20,000
จำนวนจุลินทรีย์สูงสุดที่อนุญาต
จำนวนแบคทีเรียต้องไม่เกิน 500 ต่อลูกบาศก์เมตร
จำนวนแบคทีเรียที่ตกตะกอนไม่ควรเกิน 10 ต่อจานเพาะเชื้อ
ความแตกต่างของแรงดัน: ความแตกต่างของแรงดันระหว่างห้องสะอาดที่มีระดับความสะอาดเท่ากันควรสอดคล้องกันความแตกต่างของแรงดันระหว่างห้องสะอาดที่อยู่ติดกันซึ่งมีระดับความสะอาดต่างกันควรเป็น≥5Pa และความแตกต่างของแรงดันระหว่างห้องสะอาดและห้องที่ไม่สะอาดควรเป็น≥10Pa
เมื่อเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นระดับ 100,000 ไม่มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับอุณหภูมิและความชื้น ก็ควรสวมชุดทำงานที่สะอาดโดยไม่รู้สึกสบายตัวโดยทั่วไปอุณหภูมิจะถูกควบคุมที่ 20 ~ 22 ℃ในฤดูหนาว24~26℃ ในฤดูร้อน;ความผันผวน ±2℃ความชื้นของคลีนรูมในฤดูหนาวถูกควบคุมที่ 30-50% และความชื้นในห้องคลีนรูมในฤดูร้อนจะถูกควบคุมที่ 50-70%
การควบคุมเสียงรบกวน
1. ในระหว่างการทดสอบแบบไดนามิก ระดับเสียงในห้องคลีนรูม 10,000 คลาสไม่ควรเกิน 70 dBA
2. ในระหว่างการทดสอบแบบสถิต ระดับเสียงของห้องปลอดเชื้อระดับ 10,000 ระดับไม่ควรเกิน 60 dBA
องค์กรการไหลของอากาศ
วิธีการจ่ายอากาศหลักที่ใช้ในการประชุมเชิงปฏิบัติการปลอดฝุ่นระดับ 100,000;
1. การจ่ายอากาศเพดานปากบางส่วน
2. เครื่องกรองอากาศประสิทธิภาพสูงพร้อมแผ่นกระจายอากาศสำหรับการจ่ายอากาศบนเพดาน
3. การจ่ายลม 3 แบบ รวมถึงการจ่ายลมที่ผนังด้านบน
1. จัดช่องระบายอากาศที่ส่วนล่างของผนังด้านเดียว2. เมื่อใช้ลมกลับของทางเดิน ให้จัดช่องระบายอากาศกลับอย่างสม่ำเสมอในทางเดิน หรือตั้งช่องระบายอากาศกลับที่ส่วนท้ายของทางเดินจากส่วนกลาง
ความเร็วลมออก m/s:
1. Orifice 3~5 ของ orifice plate，
2. ช่องระบายอากาศด้านข้าง:
(1) แนบเครื่องบินไอพ่น 2 ถึง 5，
(2) สำหรับเครื่องบินไอพ่นที่ไม่ยึดติด ลมกลับที่ส่วนล่างของผนังด้านเดียวกันคือ 1.5~2.5 และลมกลับที่ส่วนล่างของผนังด้านตรงข้ามคือ 1.0~1.5
ความเร็วลมกลับ (m/s):
1. ช่องระบายอากาศกลับของห้องสะอาดไม่เกิน 2,
2. ช่องระบายอากาศกลับในทางเดินไม่เกิน 4
1. วัตถุประสงค์
กำหนดขั้นตอนการปฏิบัติงานมาตรฐานสำหรับบุคลากรที่เข้าและออกจากห้องสะอาดระดับ 100,000 เพื่อให้แน่ใจว่าบุคลากรจะไม่ปนเปื้อนในห้องสะอาด
2. พื้นที่
การเข้าและออกของบุคลากรเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นระดับ 100,000 รวมถึงผู้ปฏิบัติงานด้านการผลิต เจ้าหน้าที่ซ่อมบำรุง และบุคลากรด้านการจัดการ
3 ความรับผิดชอบ
3.1 บุคลากรทุกคนที่เข้าและออกจากเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นระดับ 100,000 จะต้องรับผิดชอบขั้นตอนการปฏิบัติงานนี้
3.2 หัวหน้าทีมของเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นและเจ้าหน้าที่ควบคุมคุณภาพในสถานที่มีหน้าที่กำกับดูแลและตรวจสอบ
4 เนื้อหา
4.1 เข้าประตูห้องคลีนรูมและวางอุปกรณ์กันฝนและสิ่งของในตำแหน่งที่กำหนด
4.2 เปลี่ยนรองเท้าแตะที่จุดเปลี่ยนรองเท้า ให้นั่งบนเก้าอี้วางรองเท้า ถอดรองเท้าประจำบ้าน ใส่ในตู้รองเท้า หมุน 180 องศา นำรองเท้าแตะของคุณเองที่ชั้นบนของตู้รองเท้าออกมาแล้วสวม
4.3 การเปลี่ยนชุดทำงานเข้าไปในสำนักงานพื้นที่ทำงานทั่วไป ถอดชุดลำลองของพนักงาน และเปลี่ยนเป็นชุดทำงาน
4.4 ล้างมือให้สะอาดทำตามขั้นตอนการล้างมือเพื่อล้างมือ
4.5 เปลี่ยนเป็นรองเท้าทำงานเข้าประตูห้องรองเท้า นั่งบนม้านั่ง หันหน้าไปทางประตู ถอดรองเท้าแตะ ใส่รองเท้าแตะที่ชั้นล่างของตู้รองเท้า ถอดรองเท้าทำงานออกจากชั้นบนของตู้รองเท้า แล้วนั่งลง หมุน 180 องศาโดยให้หลังของคุณไปที่ประตูแล้วสวมใส่
4.6 ล้างมือและเช็ดให้แห้ง
4.6.1 ล้างมือด้วยน้ำให้เปียกเหนือข้อมือ 10 ซม. ในอ่างล้างจาน ล้างด้วยผงซักฟอก ทำให้ผิวมือและข้อมือของคุณเต็มไปด้วยโฟม 10 ซม. แล้วถูประมาณ 15 วินาที
4.6.2 ล้างมือด้วยน้ำ ล้างข้าวที่แช่ไว้บนมือ หงายมือขึ้นและลง แล้วถูจนไม่รู้สึกเยิ้ม
4.6.3 ตรวจดูด้วยสายตาว่ามือสะอาด
4.6.4 ยืดฝ่ามือของคุณให้ต่ำกว่ามือเป่าให้เหลือ 8-10 ซม. แล้วเช็ดมือให้แห้ง
4.7 เปลี่ยนเป็นชุดชั้นในที่สะอาดถอดชุดทำงานและเก็บไว้ในล็อกเกอร์ส่วนตัวถอดหมวกทำงาน ชุดทำงาน และกางเกงทำงานด้วยหมายเลขส่วนตัวจากขอแขวนผนังในห้องล็อกเกอร์แล้วสวมใส่ใส่ตามลำดับจากบนลงล่าง กล่าวคือ ใส่หมวก หน้ากาก จากนั้นใส่ด้านบน และกางเกงให้ความสนใจในการผูกท็อปส์ซูทั้งหมดไว้ในกระเป๋ากางเกง มัดผมทั้งหมดไว้ในหมวก และตรวจดูว่าเสื้อโค้ทและหมวกแก๊ปนั้นเรียบร้อยหรือไม่
4.8 ล้างมือและฆ่าเชื้อ
4.8.1 ล้างมือด้วยน้ำให้เปียกเหนือข้อมือ 10 ซม. ในอ่างล้างจาน ล้างด้วยผงซักฟอก ทำให้ผิวมือและข้อมือของคุณเต็มไปด้วยโฟม 10 ซม. แล้วถูประมาณ 15 วินาที
4.8.2 ล้างมือด้วยน้ำ ล้างข้าวที่แช่ไว้ หงายมือขึ้นและลง แล้วถูจนไม่รู้สึกเยิ้ม
4.8.3 ตรวจดูด้วยสายตาว่ามือสะอาด
4.8.4 การฆ่าเชื้อแช่มือเหนือข้อมือ 10 ซม. ในน้ำยาฆ่าเชื้อที่มีคลอรีนเป็นเวลา 30 วินาที
4.8.5 ขยายฝ่ามือของคุณให้ต่ำกว่ามือเป่าให้เหลือ 8-10 ซม. แล้วเช็ดมือให้แห้ง
4.9 สวมชุดคลุมลบไซต์เดียวที่มีหมายเลขส่วนบุคคลออกจากตู้เสื้อผ้าสวมใส่จากล่างขึ้นบน ระวังอย่าให้ชุดคลุมแตะพื้น
4.10 ใบเสร็จรับเงินและการฆ่าเชื้อดันประตูเข้าไปในห้องบัฟเฟอร์ วางมือของคุณไว้ใต้เครื่องพ่นสารเคมีเหนี่ยวนำอัตโนมัติที่เติมเอธานอล 75% สเปรย์ฆ่าเชื้อ จับมือ และปล่อยให้เอทานอลแห้ง
4.11 เข้าห้องคลีนรูมเปิดประตูห้องบัฟเฟอร์และเข้าไปในพื้นที่ปลอดฝุ่น
4.12 เมื่อบุคลากรออกจากพื้นที่สะอาด ให้ปฏิบัติตามขั้นตอนย้อนกลับเพื่อเข้าสู่พื้นที่สะอาดโปรดทราบว่าเมื่อลากชุดทำงาน ให้ถอดเสื้อผ้าจากล่างขึ้นบน
4.13 ผู้เยี่ยมชมจากภายนอกต้องได้รับการอนุมัติจากโรงงาน และภายใต้คำแนะนำและการควบคุมดูแลของบุคลากรฝ่ายจัดการการประชุมเชิงปฏิบัติการ ให้เข้าและออกจากการประชุมเชิงปฏิบัติการที่ปราศจากฝุ่นตามขั้นตอนที่กำหนดนักท่องเที่ยวต่างชาติต้องปฏิบัติตามระเบียบการจัดการของการประชุมเชิงปฏิบัติการอย่างเคร่งครัดในระหว่างการผลิตคลีนรูม ห้ามบุคคลภายนอกเข้ามา
ตามหลักปฏิบัติสากล ส่วนใหญ่ระบุระดับการทำให้บริสุทธิ์โดยปราศจากฝุ่นตามจำนวนอนุภาคในอากาศที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่กว่ามาตรฐานการจำแนกประเภทต่อลูกบาศก์เมตรกล่าวคือ สิ่งที่เรียกว่า Dust-free ไม่ใช่ 100% หากไม่มีฝุ่นเพียงเล็กน้อย แต่ควบคุมด้วยหน่วยที่น้อยมากแน่นอน อนุภาคที่ตรงตามมาตรฐานฝุ่นในมาตรฐานนี้มีขนาดเล็กมากเมื่อเทียบกับฝุ่นทั่วไปของเรา แต่สำหรับโครงสร้างทางแสง ฝุ่นเพียงเล็กน้อยก็จะมีผลกระทบเชิงลบมาก ดังนั้นในการผลิตผลิตภัณฑ์โครงสร้างแสง ฝุ่น ฟรีเป็นข้อกำหนดที่หลีกเลี่ยงไม่ได้
ควบคุมจำนวนอนุภาคที่มีขนาดอนุภาคน้อยกว่า 0.5 ไมครอนให้น้อยกว่า 3,500 ต่อลูกบาศก์เมตร ซึ่งถึงระดับ A ที่ปราศจากฝุ่นระดับสากลมาตรฐานปลอดฝุ่นที่ใช้ในการผลิตและแปรรูประดับชิปในปัจจุบันมีข้อกำหนดด้านฝุ่นที่สูงกว่าระดับ A และมาตรฐานที่สูงดังกล่าวมักใช้ในการผลิตชิประดับสูงกว่าบางรุ่นจำนวนฝุ่นละเอียดถูกควบคุมอย่างเข้มงวดภายใน 1,000 ต่อลูกบาศก์เมตร ซึ่งเป็นที่รู้จักกันทั่วไปว่าเป็นระดับ 1K ในอุตสาหกรรม
1. ช่องวัสดุฝ้าเพดานความสูงเพดาน
2. วัสดุปูพื้น
3. ไม่ว่าจะเป็นอุณหภูมิและความชื้นคงที่
4. ต้องใช้อากาศเสียหรือไม่
5. จำนวนคนในการประชุมเชิงปฏิบัติการ
6. ค่าความร้อนของอุปกรณ์กระบวนการประชุมเชิงปฏิบัติการ
และชุดของพารามิเตอร์ต่างๆ
มาตรฐานสำหรับห้องคลีนรูมคลาส 100,000 คือ:
ปริมาณฝุ่นสูงสุดที่อนุญาต (ต่อลูกบาศก์เมตร)
จำนวนอนุภาคที่มากกว่าหรือเท่ากับ 0.5 ไมครอนต้องไม่เกิน 3,500,000 และจำนวนอนุภาคที่มากกว่าหรือเท่ากับ 5 ไมครอนจะต้องไม่เกิน 20,000
จำนวนจุลินทรีย์สูงสุดที่อนุญาต
จำนวนแบคทีเรียต้องไม่เกิน 500 ต่อลูกบาศก์เมตร
จำนวนแบคทีเรียที่ตกตะกอนไม่ควรเกิน 10 ต่อจานเพาะเชื้อ
ความแตกต่างของแรงดัน: ความแตกต่างของแรงดันระหว่างห้องสะอาดที่มีระดับความสะอาดเท่ากันควรสอดคล้องกันความแตกต่างของแรงดันระหว่างห้องสะอาดที่อยู่ติดกันซึ่งมีระดับความสะอาดต่างกันควรเป็น≥5Pa และความแตกต่างของแรงดันระหว่างห้องสะอาดและห้องที่ไม่สะอาดควรเป็น≥10Pa
เมื่อเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นระดับ 100,000 ไม่มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับอุณหภูมิและความชื้น ก็ควรสวมชุดทำงานที่สะอาดโดยไม่รู้สึกสบายตัวโดยทั่วไปอุณหภูมิจะถูกควบคุมที่ 20 ~ 22 ℃ในฤดูหนาว24~26℃ ในฤดูร้อน;ความผันผวน ±2℃ความชื้นของคลีนรูมในฤดูหนาวถูกควบคุมที่ 30-50% และความชื้นในห้องคลีนรูมในฤดูร้อนจะถูกควบคุมที่ 50-70%
การควบคุมเสียงรบกวน
1. ในระหว่างการทดสอบแบบไดนามิก ระดับเสียงในห้องคลีนรูม 10,000 คลาสไม่ควรเกิน 70 dBA
2. ในระหว่างการทดสอบแบบสถิต ระดับเสียงของห้องปลอดเชื้อระดับ 10,000 ระดับไม่ควรเกิน 60 dBA
องค์กรการไหลของอากาศ
วิธีการจ่ายอากาศหลักที่ใช้ในการประชุมเชิงปฏิบัติการปลอดฝุ่นระดับ 100,000;
1. การจ่ายอากาศเพดานปากบางส่วน
2. เครื่องกรองอากาศประสิทธิภาพสูงพร้อมแผ่นกระจายอากาศสำหรับการจ่ายอากาศบนเพดาน
3. การจ่ายลม 3 แบบ รวมถึงการจ่ายลมที่ผนังด้านบน
1. จัดช่องระบายอากาศที่ส่วนล่างของผนังด้านเดียว2. เมื่อใช้ลมกลับของทางเดิน ให้จัดช่องระบายอากาศกลับอย่างสม่ำเสมอในทางเดิน หรือตั้งช่องระบายอากาศกลับที่ส่วนท้ายของทางเดินจากส่วนกลาง
ความเร็วลมออก m/s:
1. Orifice 3~5 ของ orifice plate，
2. ช่องระบายอากาศด้านข้าง:
(1) แนบเครื่องบินไอพ่น 2 ถึง 5，
(2) สำหรับเครื่องบินไอพ่นที่ไม่ยึดติด ลมกลับที่ส่วนล่างของผนังด้านเดียวกันคือ 1.5~2.5 และลมกลับที่ส่วนล่างของผนังด้านตรงข้ามคือ 1.0~1.5
ความเร็วลมกลับ (m/s):
1. ช่องระบายอากาศกลับของห้องสะอาดไม่เกิน 2,
2. ช่องระบายอากาศกลับในทางเดินไม่เกิน 4
1. วัตถุประสงค์
กำหนดขั้นตอนการปฏิบัติงานมาตรฐานสำหรับบุคลากรที่เข้าและออกจากห้องสะอาดระดับ 100,000 เพื่อให้แน่ใจว่าบุคลากรจะไม่ปนเปื้อนในห้องสะอาด
2. พื้นที่
การเข้าและออกของบุคลากรเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นระดับ 100,000 รวมถึงผู้ปฏิบัติงานด้านการผลิต เจ้าหน้าที่ซ่อมบำรุง และบุคลากรด้านการจัดการ
3 ความรับผิดชอบ
3.1 บุคลากรทุกคนที่เข้าและออกจากเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นระดับ 100,000 จะต้องรับผิดชอบขั้นตอนการปฏิบัติงานนี้
3.2 หัวหน้าทีมของเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นและเจ้าหน้าที่ควบคุมคุณภาพในสถานที่มีหน้าที่กำกับดูแลและตรวจสอบ
4 เนื้อหา
4.1 เข้าประตูห้องคลีนรูมและวางอุปกรณ์กันฝนและสิ่งของในตำแหน่งที่กำหนด
4.2 เปลี่ยนรองเท้าแตะที่จุดเปลี่ยนรองเท้า ให้นั่งบนเก้าอี้วางรองเท้า ถอดรองเท้าประจำบ้าน ใส่ในตู้รองเท้า หมุน 180 องศา นำรองเท้าแตะของคุณเองที่ชั้นบนของตู้รองเท้าออกมาแล้วสวม
4.3 การเปลี่ยนชุดทำงานเข้าไปในสำนักงานพื้นที่ทำงานทั่วไป ถอดชุดลำลองของพนักงาน และเปลี่ยนเป็นชุดทำงาน
4.4 ล้างมือให้สะอาดทำตามขั้นตอนการล้างมือเพื่อล้างมือ
4.5 เปลี่ยนเป็นรองเท้าทำงานเข้าประตูห้องรองเท้า นั่งบนม้านั่ง หันหน้าไปทางประตู ถอดรองเท้าแตะ ใส่รองเท้าแตะที่ชั้นล่างของตู้รองเท้า ถอดรองเท้าทำงานออกจากชั้นบนของตู้รองเท้า แล้วนั่งลง หมุน 180 องศาโดยให้หลังของคุณไปที่ประตูแล้วสวมใส่
4.6 ล้างมือและเช็ดให้แห้ง
4.6.1 ล้างมือด้วยน้ำให้เปียกเหนือข้อมือ 10 ซม. ในอ่างล้างจาน ล้างด้วยผงซักฟอก ทำให้ผิวมือและข้อมือของคุณเต็มไปด้วยโฟม 10 ซม. แล้วถูประมาณ 15 วินาที
4.6.2 ล้างมือด้วยน้ำ ล้างข้าวที่แช่ไว้บนมือ หงายมือขึ้นและลง แล้วถูจนไม่รู้สึกเยิ้ม
4.6.3 ตรวจดูด้วยสายตาว่ามือสะอาด
4.6.4 ยืดฝ่ามือของคุณให้ต่ำกว่ามือเป่าให้เหลือ 8-10 ซม. แล้วเช็ดมือให้แห้ง
4.7 เปลี่ยนเป็นชุดชั้นในที่สะอาดถอดชุดทำงานและเก็บไว้ในล็อกเกอร์ส่วนตัวถอดหมวกทำงาน ชุดทำงาน และกางเกงทำงานด้วยหมายเลขส่วนตัวจากขอแขวนผนังในห้องล็อกเกอร์แล้วสวมใส่ใส่ตามลำดับจากบนลงล่าง กล่าวคือ ใส่หมวก หน้ากาก จากนั้นใส่ด้านบน และกางเกงให้ความสนใจในการผูกท็อปส์ซูทั้งหมดไว้ในกระเป๋ากางเกง มัดผมทั้งหมดไว้ในหมวก และตรวจดูว่าเสื้อโค้ทและหมวกแก๊ปนั้นเรียบร้อยหรือไม่
4.8 ล้างมือและฆ่าเชื้อ
4.8.1 ล้างมือด้วยน้ำให้เปียกเหนือข้อมือ 10 ซม. ในอ่างล้างจาน ล้างด้วยผงซักฟอก ทำให้ผิวมือและข้อมือของคุณเต็มไปด้วยโฟม 10 ซม. แล้วถูประมาณ 15 วินาที
4.8.2 ล้างมือด้วยน้ำ ล้างข้าวที่แช่ไว้ หงายมือขึ้นและลง แล้วถูจนไม่รู้สึกเยิ้ม
4.8.3 ตรวจดูด้วยสายตาว่ามือสะอาด
4.8.4 การฆ่าเชื้อแช่มือเหนือข้อมือ 10 ซม. ในน้ำยาฆ่าเชื้อที่มีคลอรีนเป็นเวลา 30 วินาที
4.8.5 ขยายฝ่ามือของคุณให้ต่ำกว่ามือเป่าให้เหลือ 8-10 ซม. แล้วเช็ดมือให้แห้ง
4.9 สวมชุดคลุมลบไซต์เดียวที่มีหมายเลขส่วนบุคคลออกจากตู้เสื้อผ้าสวมใส่จากล่างขึ้นบน ระวังอย่าให้ชุดคลุมแตะพื้น
4.10 ใบเสร็จรับเงินและการฆ่าเชื้อดันประตูเข้าไปในห้องบัฟเฟอร์ วางมือของคุณไว้ใต้เครื่องพ่นสารเคมีเหนี่ยวนำอัตโนมัติที่เติมเอธานอล 75% สเปรย์ฆ่าเชื้อ จับมือ และปล่อยให้เอทานอลแห้ง
4.11 เข้าห้องคลีนรูมเปิดประตูห้องบัฟเฟอร์และเข้าไปในพื้นที่ปลอดฝุ่น
4.12 เมื่อบุคลากรออกจากพื้นที่สะอาด ให้ปฏิบัติตามขั้นตอนย้อนกลับเพื่อเข้าสู่พื้นที่สะอาดโปรดทราบว่าเมื่อลากชุดทำงาน ให้ถอดเสื้อผ้าจากล่างขึ้นบน
4.13 ผู้เยี่ยมชมจากภายนอกต้องได้รับการอนุมัติจากโรงงาน และภายใต้คำแนะนำและการควบคุมดูแลของบุคลากรฝ่ายจัดการการประชุมเชิงปฏิบัติการ ให้เข้าและออกจากการประชุมเชิงปฏิบัติการที่ปราศจากฝุ่นตามขั้นตอนที่กำหนดนักท่องเที่ยวต่างชาติต้องปฏิบัติตามระเบียบการจัดการของการประชุมเชิงปฏิบัติการอย่างเคร่งครัดในระหว่างการผลิตคลีนรูม ห้ามบุคคลภายนอกเข้ามา
